研究級金相顯微鏡VMX6L大行程移動(dòng)工作平臺，長(cháng)工作距半復消色差物鏡，圖像銳利清晰，廣泛應用于晶圓、FPD等各項工業(yè)檢測。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1、VMX4L / VMX6L可以實(shí)現X、Y方向105mm-158mm的移動(dòng)范圍。

2、新設計的長(cháng)工作距專(zhuān)業(yè)金相物鏡,成像效果更好。

3、各種觀(guān)察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。

4、附件齊全,配置完善,可靈活進(jìn)行系統組合與功能拓展。

5、人機工程學(xué)設計、堅實(shí)可靠的系統結構。

觀(guān)察圖實(shí)例

豐富的觀(guān)察方式，滿(mǎn)足您的檢測需求

DIC微分干涉觀(guān)察

在正交偏光的基礎上 , 插入DIC棱鏡，即可進(jìn)行DIC微分干涉觀(guān)察。使用DIC技術(shù) ,可以使樣品表面微小的高

低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果，極大的提高圖像的對比度?？善ヅ鋷IC功能的物鏡，使整個(gè)視場(chǎng)的干涉色一致，

微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。

產(chǎn)品結構設計

安全、穩重的機架結構設計

1、工業(yè)檢測級顯微鏡體，低重心、高剛性、高穩定性金屬機架，極大的提高的系統的抗振能力與成像的穩定性。

2、前置低手位粗微同軸調焦機構，內置100-240V寬電壓變壓器，可以適應不同地區的電網(wǎng)電壓。

3、MX6R機型底座內部設有風(fēng)循環(huán)散熱系統，長(cháng)時(shí)間使用也不會(huì )使機架過(guò)熱。

高性能物鏡轉換器

1、VMX機型的轉換器采用精密軸承設計，轉動(dòng)手感輕巧舒適，重復定位精度高，物鏡轉換后的同心度也得到較好的控制，根據MX系列機型配置及功能的不同，可以選擇不同型號的轉換器。

2、PI103C51型：明場(chǎng)5孔轉換器，帶DIC插槽，用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、PI115C6BDI型：明暗場(chǎng)6孔轉換器，帶DIC插槽，用于VMX6L/VMX6LT機型。

不同的照明器可供選擇

1、明場(chǎng)反射照明器：?jiǎn)晤w大功率5W暖色LED照明，適用于VMX4L/VMX4LT機型。

2、明場(chǎng)反射照明器：柯拉照明系統，帶視場(chǎng)光闌與孔徑光闌，中心可調；帶斜照明裝置，適用于VMX4L/VMX4LT機型。

3、明暗場(chǎng)反射照明器：帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調；帶明暗場(chǎng)照明切換裝置，適用于MX6R/MX6RT機型。

4、透射照明: VMX系列均可使用透反兩用機型。透射光源為單顆大功率5W暖色LED，  并帶有N.A.0.5聚光鏡。

5、透射照明與反射照明可獨立控制，即透反照明可同時(shí)開(kāi)啟，亦可單獨開(kāi)啟。

大行程移動(dòng)平臺設計

1、VMX系列機型采用4〃/6〃平臺設計，不僅適用于相應尺寸的晶圓及FPD檢測，而且可用于小尺寸樣品的陣列檢測。

2、VMX4L/VMX4LT：4英寸雙層機械移動(dòng)平臺，移動(dòng)范圍105mm×105mm；VMX6L/VMX6LT：6英寸三層機械移動(dòng)平臺，反射照明移動(dòng)范圍158mm×158

3、mm，透射照明移動(dòng)范圍100mm×100mm；帶離合器手柄，可用于全行程范圍內快速移動(dòng)。

4、通過(guò)使用平臺適配接口，所有平臺可在VMX系列機型之間通用。

超長(cháng)工作距金相物鏡

1、全*設計的長(cháng)工作距物鏡，采用半復消色差技術(shù)，其使用的多層寬帶鍍膜技術(shù)，使整個(gè)視場(chǎng)內的成像清晰銳利，色彩自然，明亮舒適。

2、長(cháng)工作距設計，50X物鏡的有效工作距離7.9mm，100X物鏡的有效工作距離也達到了 2.1mm，更有20X超長(cháng)工作距金相物鏡，大幅拓展了VMX機型的同步設計了全套明暗場(chǎng)兩用物鏡，適用于 VMX6L 機型，暗場(chǎng)照明亮度比傳統暗場(chǎng)物鏡提高 2 倍以上。

無(wú)限遠鉸鏈式三目觀(guān)察頭

1、ETTR型正像鉸鏈三目觀(guān)察頭，所成像的方位與物體實(shí)際方位yi致，物體移動(dòng)的方向跟像面移動(dòng)的方向相同，便于使用者觀(guān)察與操作。適用于6英寸移動(dòng)平臺配合使用。

2、VMX4LTH30R型鉸鏈三目觀(guān)察筒，適用于4英寸平臺配合使用。

3、兩種類(lèi)型的觀(guān)察筒可以在VMX機型內通用。

產(chǎn)品技術(shù)參數

產(chǎn)品尺寸